ステッパー・産業用照明光源装置・結像レンズ
製品情報
ステッパー
全く新しいコンセプトのもとに開発された投影露光装置(ステッパー)、MMSシリーズとASSシリーズ共に次々世代の技術水準まで視野に置いた高性能が特徴です。
光源装置・周辺機器
目白プレシジョンの優れた光学技術を生かした光源製品を、露光から検査まで、お客様の幅広いニーズにお答えできるよう、用途に応じて取り揃えました。
CCD顕微鏡レンズ・顕微鏡対物レンズ
広視野・高解像・長作動距離・高コントラストを実現した落射照明内蔵対物レンズ。
最新情報
・2012年1月18日(水)〜20日(金)
ネプコンジャパン2012内、第13回半導体パッケージング技術展
に出展しました。
・2011年12月7日(水)〜12月9日(金)
国際画像機器展2011
に出展しました。 会場:パシフィコ横浜
・2011年12月7日(水)〜9日(金)
SEMICON Japan 2011
に出展しました。 会場:幕張メッセ
同時に12月9日(金)13時〜 セミナー「次世代に求められる微細加工技術」を開催しました。
会場:ホテルニューオータニ幕張
・
『フジサンケイビジネスアイ』2011年9月16日号
に、弊社『応用露光機』が紹介されました。
・2011年6月1日(水)〜3日(金) JPCA SHOW 2011(第41回国際電子回路産業展)に出展しました。
・2011年5月13日(金) 新化学技術推進協会 電子情報技術部会において取締役社長 村上成郎が
「投影露光における3次元パターンの形成」
をテーマに講演を行いました。
・
日本政策金融公庫様のホームページ
に当社が紹介されました。
・2010年9月受注分より、「CEマーキング」の貼付を開始しました。
適合製品は、メタルハライド光源装置”
BMH-252
”および”
BMH-352
”シリーズです。
・オンラインショップがオープンしました
保守用交換ランプ、CCD顕微鏡レンズ、顕微鏡レンズをオンラインでご購入いただけます。(
オンラインショップ
)
新製品情報 1
応用露光装置:ASSシリーズ
ハーフミクロンからラフレイヤーまでのあらゆるリソグラフィーへ対応しました。
投影露光レンズの交換で多世代使用を可能にします。
さらにレンズ毎の解像力もコンピュータにより変更可能で焦点深度や露光エリアなどの使い勝手が向上しました。
※ASS用レンズシリーズに、LED4インチ量産対応の高解像力レンズ"Ck"が新たに加わりました。
New!
新製品情報 2
大口径投影露光装置:MMS/P141、MMS/P142
ご好評のMMS P804およびMMS P806の解像力と同等以上の性能に大口径(Φ355)化した
MMS P141およびMMS P142を開発しました。
スループット重視の量産プロセスに対応します。
新製品情報 3
LED光源装置シリーズ
New!
・小型LED光源装置[MED102fR/MED103fR]: 高演色Ra90以上。記録や観察に最適です。
・多目的ハイパワーLED光源装置[MED803fA/MED813f]: 高パワー。高速の画像処理や撮影に最適です。
新製品情報 4
UV平行光照射装置(800W)MULシリーズ:
照射範囲φ300mmと300×300mmが新たに追加されました。
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メタルハライド光源装置用
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MH-160-5600
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MH-160-7000
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MH-250-7500
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MH-250H
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MH-350G
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UV光源装置用
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HG-200MPS
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HG-1000MPKO
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ハロゲン光源PHL-シリーズ用
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JCR12V50WG
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JCR12V100WB
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JCR15V150WB
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0.2X・1X・5X・10X
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5X・10X・20X・50X・100X
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5X・10X・20X・40X・60X
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