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 ステッパー |
| 全く新しいコンセプトのもとに開発された投影露光装置、MMステッパー。次々世代の技術水準まで視野に置いた高性能が特徴です。 |
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光源装置・周辺機器 |
| 目白プレシジョンの優れた光学技術を生かした光源製品を、露光から検査まで、お客様の幅広いニーズにお答えできるよう、用途に応じて取り揃えました。 |
| 2010年6月02日〜04日 国際展示場ビッグサイトでＪＰＣＡ展示会に出展しました。 |
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同展示会の「ＮＰＩプレゼンテーション」でステッパと微細加工をテーマとして講演を行いました。導入計画をお持ちのお客様への個別のプレゼンテーションを行います。ご遠慮なくご用命下さい。 |
| オンラインショップがオープンしました |
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保守用交換ランプ、ＣＣＤ顕微鏡レンズ、顕微鏡レンズをオンラインでご購入いただけます。（オンラインショップ） |
| 新製品情報 １ |
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汎用露光システム： |
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ハーフミクロンからラフレイヤーまでのあらゆるリソグラフィーニーズへ対応しました。 |
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投影露光レンズの交換で多世代使用を可能にします。 |
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各レンズの解像力が可変になりさらに使い勝手が向上しました。 |
| 新製品情報 ２ |
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大口径投影露光システム： |
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ＭＭＳＰ８０４の解像力と同等以上の性能に大口径（φ３５５）化しました。 |
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スループット重視の量産プロセスに対応します。 |
| 新製品情報 ３ |
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ＵＶ平行光照射装置（８００Ｗ）ＭＵＬシリーズ： |
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照射範囲φ３００ｍｍと３００×３００ｍｍが新たに追加されました。 |
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